全球的三家大型曝光装置厂商的2010年1~3月（2010年第一季度或2009财年第4季度）结算报告全部出炉。虽然整体处于复苏态势，不过相对于规模最大的荷兰ASMLHoldingN.V.大幅恢复业绩，第二大厂商尼康和第三大厂商佳能的业绩恢复预计将在今后才能全面开始。目前，ASML手中的订单越来越多，面临交货期的问题。这也给尼康等厂商的卷土重来提供了机会。
　　2010年1~3月的曝光装置部门或曝光装置的销售额方面，ASML为同比（以下简称YoY）增加303.3%、环比（以下简称QoQ）增加27.7%的7亿7200万欧元。纯利润为QoQ增加114.0%的1亿700万欧元，实现了扭亏为盈（上年同期为亏损1亿1700万欧元）。尼康精机公司的销售额为YoY减少14.3%、QoQ增加71.2%的529亿日元，营业利润为亏损54亿日元（上年同期亏损6亿日元，上季度亏损92亿日元）。佳能的曝光装置销售额约为YoY减少67%的50亿日元。2010年1~3月的供货量如下，ASML供货23台新产品，11台二手产品，共计34台。尼康向半导体用途供货12台新产品和8台二手产品，向液晶面板用途供货15台产品。佳能的供货量方面，半导体用途为4台（均为i线装置），液晶面板用途为5台。
　　今后，ASML的2010全财年销售额预计将达到历史最高的38亿欧元以上，因此估计继1~3月之后，2010年4~6月也将接到10亿欧元的订单。ASML在2010年1~3月底（截至2010年3月28日）已经接到了按照金额计算为21亿7000万欧元，按照台数计算为85台的订单。该公司曝光装置产能的上限方面，估计按照金额计算为10亿欧元/季度，按照台数计算为50台/季度。ASML在1~3月的供货不到8亿欧元，如果在剩下的三个季度里能够每季度供货10亿欧元的话，估计将全年将供货38亿欧元。因此，今后该公司将在持续拥有近半年订单的前提下，满负荷地开展业务。
　　相对于业界第一的好成绩，尼康在2010年4~9月（2010财年上半年）的销售额预计为800亿日元、营业利润为亏损80亿日元，2010年10月~2011年3月（2010财年下半年）的销售额为1300亿日元、营业利润为盈利110亿日元，全财年的销售额为2100亿日元、营业利润为盈利30亿日元。曝光装置供货量方面，半导体用途在2010年4~9月为26台（新产品17台，二手产品9台），2010年10月~2011年3月为44台（新产品31台，二手产品13台）。也就是说，全财年尼康将供货48台新产品（27台ArF液浸装置、2台ArF装置、7台KrF装置、12台i线装置），二手产品将供货22台，共计70台。另外，液晶用途产品将在2010年4~9月供货24台，2010年10月~2011年3月供货34台，全财年供货58台（第7代以后为33台，5~6代为19台，4代以前为6台）。
　　另一方面，预计佳能2010年全财年的销售额，将达到比上年增加28%的710亿日元左右。半导体用途为31台（6台KrF装置，25台i线装置），液晶面板用途为59台。