博世支持200mm晶圆的生产线已开始投产

  德国罗伯特·博世(Robert BoschGmbH)在该公司位于罗伊特林根的生产基地内建设的支持200mm晶圆的工厂现已开始投产。此次的200mm晶圆工厂的目标是大幅扩大汽车业务及消费类产品业务,将其培育成新业务支柱。



  该公司利用此次的200mm晶圆工厂制造半导体及MEMS器件。消费类产品用传感器将由该公司的全资子公司博世传感器(BoschSensortecGmbH)销售。博世传感器瞄准的消费类产品为手机、个人电脑及游戏机等。在此次的工厂开始投产之前,博世传感器相继发布了尺寸更小且功能更高的MEMS传感器。



  此次的总投资额为6亿欧元,是罗伯特·博世迄今为止的最大投资额。该公司设置了支持200mm晶圆的工厂以及半导体和MEMS评测中心。

 

 



开始投产的支持200mm晶圆的工厂。

 

 



前工序的一部分。德国罗伯特·博世的数据。

 

 



等离子蚀刻工序。德国罗伯特·博世的数据。





  

  从投入晶圆到完成生产,整个过程平均需要6周。预定到2016年完成时的产能最大为100万个/天。

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