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天龙光电首台MOCVD正式交货 市场认可还需时日
12月17日,天龙光电(300029.SZ)董秘吕松对《新产业》透露,“根据客户要求,公司MOCVD设备直到12月12日才发运给客户。”
“设备到客户端后,还要进行为期3到6个月的调试,当然也有可能更快。”吕松乐观估计。
事实上,9月11日,天龙光电发布公告称,公司旗下子公司江苏中晟半导体设备有限公司(以下简称“中晟公司”)已与一家客户签订一台MOCVD设备销售合同。并表示,10月底11月初,在中晟公司完成调试之后即可发货给客户。
据悉,中晟公司在今年初1月18日即实现了MOCVD生产机型下线。并在11月初完成了工艺的开发和设备进一步的改进优化,以及设备产业化生产必备条件和设施的建立。
对此,中晟公司管理团队表示,首台MOCVD设备的发运还仅仅是一个阶段性成果。虽然MOCVD设备长期被垄断的局面已经打破,但在实现MOCVD设备国产化战略目标的征途上还将面临各种挑战,要不断提高性能以满足客户的需要,并在市场上得到的检验与认可。
吕松对记者表示,继10月中旬获得江苏省科技厅资助经费1500万元之后,公司还将继续向当地政府申请补贴,一方面用于本公司MOCVD设备的技术研发,另一方面用于客户端在调试MOCVD设备过程中产生的经费。“对于具体给客户补贴多少比例还不确定。”
吕松说,目前已经有5、6家意向客户到公司进行了实地考察,正在对各项技术指标和工艺进行验证。
12月14日,北方微电子公司总裁赵晋荣在高工LED大会上表示,目前国内LED高端工艺国产化设备已取得初步进展,但是国产MOCVD设备依旧任重道远。
近几年来,MOCVD开始以企业化运作的方式进行机台研发,2011年以前国内有近20家单位在研发,大部分是企业,2011年以后只有五六家单位在进行研发,其中有三四家已经完成组装调试,进入工艺测试阶段。
“不过到目前为止,还没有可以在生产线进行大批量生产的成熟设备。”赵晋荣坦言,国产设备目前存在一些问题,主要是由于刚刚推出,某些方面不太成熟,比国外设备要承担更大的风险,但随着国产设备的逐渐走向更多的企业,未来LED设备国产化已是必然趋势